专门针对半导体行业的微波在线片式真空等离子清洗机,针对半导体芯?粘接前处理、塑封前处理、光刻胶去除、?属键合前处理。等离子体不带电,不对精密电路造成损害,采用磁约束方式,可兼容微波结和磁路。
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